等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。
 

　　電極對(duì)等離子清洗效果影響：
 

　　電極的設(shè)計(jì)對(duì)等離子清洗效果有著顯著的影響，主要包括電極的材料、布局和尺寸等因素。對(duì)于內(nèi)電極等離子清洗系統(tǒng)，由于電極暴露在等離子體中，某些材料的電極會(huì)被一些等離子體刻蝕或發(fā)生濺射現(xiàn)象，造成不必要的污染并導(dǎo)致電極尺寸的變動(dòng)，進(jìn)而影響等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。電極的布局對(duì)等離子清洗的速度和均勻性有較大影響，較小的電極間距能夠?qū)⒌入x子體限制在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體，實(shí)現(xiàn)較快速度的清洗。隨著間距的增加清洗速度逐漸下降但均勻性逐漸增強(qiáng)，電極的尺寸通常決定了等離子系統(tǒng)的整體容量，在電極平行分布的等離子清洗系統(tǒng)中，電極通常作為托盤(pán)使用，較大尺寸的電極能夠一次清洗更多的元器件，提高設(shè)備的運(yùn)行效率。
 

　　常見(jiàn)等離子清洗機(jī)電極結(jié)構(gòu)分類(lèi)：
 

　　一般等離子清洗機(jī)腔體設(shè)計(jì)為內(nèi)置式平板式結(jié)構(gòu),有利于等離子體的均勻分布,并能通過(guò)改變擱板的位置和電極來(lái)靈活的改變工作區(qū)間的大小和等離子清洗的強(qiáng)度,來(lái)適應(yīng)不同組件的清洗要求。平板水平電極式真空等離子清洗機(jī)這是常見(jiàn)的電極結(jié)構(gòu)。層與層之間的金屬電極面積相等，等離子體放電比較均勻，電極中間可以放托架，把需要處理的產(chǎn)品放置在托架上，層間距可以調(diào)整，電極上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷狀和粉體類(lèi)的產(chǎn)品或材料不能處理，其它物品都可以。
 

　　平板垂直電極式真空等離子清洗機(jī)這種電極結(jié)構(gòu)不是簡(jiǎn)單把水平電極改為垂直就可以，層與層之間的金屬電極的間距，等離子體放電的均勻性，電極板的溫控，以及產(chǎn)品或材料的放置問(wèn)題等，都是要充分考慮的。產(chǎn)品的擺放通常采用兩種方式：電極之間加上夾子或掛鉤來(lái)處理物品;在載物車(chē)上加夾子和掛鉤來(lái)處理物品，一般用于線路板處理。
 

　　等離子清洗機(jī)電極的材質(zhì)以及分布大小間距都對(duì)等離子清洗效果有一定的影響，在容性耦合等離子產(chǎn)生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關(guān)系，平均電子 溫度與極板間距成反比關(guān)系，其均勻性與極板間距成正比關(guān)系即隨著間距的增大均勻性變好，合理的電極設(shè)計(jì)能讓等離子清洗效果更好。